新型LUPHOScan 75 HD三維非接觸微小鏡片自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

      泰勒·霍普森公司（TAYLOR HOBSON）在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)LUPHOScan 75 HD，實(shí)現(xiàn)了非接觸3D形貌測(cè)量的全自動(dòng)化，可在120秒內(nèi)完成調(diào)整、測(cè)量和分析。

LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測(cè)量周期，為大批量生產(chǎn)帶來(lái)實(shí)驗(yàn)室級(jí)的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準(zhǔn)確結(jié)果。任何級(jí)別的操作員都可以獲得快速、高精度的測(cè)量結(jié)果。

·     自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)光學(xué)工件

·     使用FPP（Focal Point Pivot）技術(shù)實(shí)現(xiàn)更短的測(cè)量周期

·     高重復(fù)精度:≤30 nm PV  

·     優(yōu)異的穩(wěn)定性: Power變化<±15 nm ,  PV變化<±1.5 nm  

·     幾何特征分析:如與光學(xué)表面相關(guān)的定位坎合面和邊緣直徑

#測(cè)量原理

在測(cè)量過程中，傳感器在整個(gè)被測(cè)物體的表面進(jìn)行螺旋式掃描，并生成高密度的三維數(shù)據(jù)。

工件在氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上旋轉(zhuǎn)，傳感器在移動(dòng)軸上沿工件徑向理論曲線移動(dòng)從而完成掃描。

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使傳感器與物體表面保持垂直，移動(dòng)軸的布局提供了很高的靈活性，能從容應(yīng)對(duì)非常規(guī)的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點(diǎn)的輪廓)。

▲LUPHOScan掃描傳感器的運(yùn)動(dòng)

#自動(dòng)調(diào)心調(diào)平

新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自動(dòng)調(diào)心調(diào)平臺(tái)，讓儀器真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

·     消除對(duì)操作員技能的依賴

·     通過自動(dòng)可重復(fù)的調(diào)心和調(diào)平實(shí)現(xiàn)測(cè)量一致性

·     以更短的設(shè)置時(shí)間提高產(chǎn)能

·     “一鍵”對(duì)準(zhǔn)、測(cè)量和分析 

#快速而簡(jiǎn)便的工件設(shè)置

只需單擊一下，自動(dòng)調(diào)心和調(diào)平就可以：

·     評(píng)估工件的偏心和傾斜狀態(tài)

·     將工件傾斜調(diào)整至< 5′′ 

·     將工件中心降至1μm偏心度

#為未來(lái)做好準(zhǔn)備

LUPHOScan 75 HD面向未來(lái)，可實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化集成：

·     腳本功能，便于人機(jī)對(duì)話

·     OP-UA兼容性

·     優(yōu)化流程，降本增效

#使用FPP (Focal Point Pivot)技術(shù)縮短測(cè)量時(shí)間

測(cè)量周期時(shí)間*多可縮短65%,且無(wú)精度損失!

·     傳感器焦點(diǎn)與軸心點(diǎn)對(duì)齊

·     ΔZ和 ΔR小 傳感器旋轉(zhuǎn)大

·     ΔZ和 ΔR小 → 測(cè)量速度更快

▲大圓弧鏡設(shè)計(jì)有助于縮短測(cè)量周期時(shí)間